产品与服务
PRODUCTS
SDS设备 (本地)
- 产品描述
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装置用途：
- 可安装于Sub-Fab或邻近CMP设备区域；
- 满足研磨液混酸与供应需求；
功能设计:
- 冗余之泵浦与桶槽设计，提供不间断的混和/供应功能；
- 冗余之过滤器设计，可在不中断系统供应的前提下进行滤芯更换与维护；
- 导电度计检测混酸品质；
- 高精度H202 磅秤，提供更高的混酸精度；
- 双原物料桶与双泵浦设计，确保原物料不中断供应；
- Bar Code 读取功能可以追溯原物料来源；
- 提供可输出至SCADA的功能接口，可在SCADA监控机台状况；- 原物料桶可配置电动搅拌机，避免研磨液沉淀结块。
所属分类：
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