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全自动槽式机(ZSE Auto Bench)

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全自动槽式机(ZSE Auto Bench)

  • 产品描述
  • 应用领域:晶圆级封装中去胶、常压助焊剂清洗、金属刻蚀等应用
    设备类型:Cassetteless-type
    晶圆尺寸:200~300mm,支持翘曲作业,可兼容翘曲度±5MM

    工艺应用:去胶、常压助焊剂清洗、金属刻蚀
    设备配置:

    WPH≥70

    2FOUP

    自动换液,补液;
    加热控制,浓度控制,流量控制,压力控制等;
    过温保护,漏液检知,分类排放;
    全面支持SECS/GEM通讯协议

所属分类:

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