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槽式湿法刻蚀清洗设备

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槽式湿法刻蚀清洗设备

  • 产品描述

  • 应用领域：RCA清洗，湿法去胶，介质层湿法刻蚀，金属层湿法刻蚀，炉管前清洗等
    设备类型：Cassette-type & Cassetteless-type
    晶圆尺寸：100mm~300mm
    设备配置：

                     - 支持化学液C.C.S.S.、L.C.S.S；
                     - Marangoni dry 或 spin dry；
                     - 自动换酸，自动补液、配液；
                     - 加热控制，浓度控制，流量控制，压力控制等；
                     - 槽体过温保护，各单元配置漏液传感器；
                     - 支持化学液回收；
                     - 全面支持SECS/GEM通讯协议。
    工艺指标：

                     - 蚀刻非均匀性：片内：≤4%；

                                                 片间：≤4%；

                                                 批次间： ≤4%；
    颗粒控制： 

                    - 增加值<30颗@0.09微米（带氧化硅膜测试，来料颗粒<50颗）
    金属离子：

                    <5E9 atoms/cm2

所属分类：

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单片湿法刻蚀清洗设备

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