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干式尾气处理器

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干式尾气处理器

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  • 干式尾气处理器主要通过吸附剂来吸附半导体工艺智程中所产生的尾气,从而使其达到国家排放标准。吸附筒中的吸附剂能有效将半导体制程中设备中产生的有毒腐蚀气体吸附,所产生的压差由压力表反馈至控制系统,控制系统做出反应,自动切换至副吸附筒,从而将有毒腐蚀气体吸收处理。 吸附气体包括SiHCl3, B2H6,PH3,AsH3,H2S, CO, CO2, SO2, CS2, CL4, H2CCL2 丙酮,乙醇,苯,甲苯,苯乙烯,恶臭物质等。处理效率非常高,最高处理效率可达到98%。

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