昆山智程争当环保使者--尾气处理设备

11-06

尾气处理设备

　　当今世界，日新月异。半导体已经深入到了人们生活中的方方面面，衣食住行全都离不开半导体。而半导体的制造工艺中，多种工艺均需要使用化学气体，其清洗过程中也需要用到各种有挥发性的化学药液。这些工艺中所带来的污染，如果直接排放将会对环境造成非常严重的污染。

　　为此，昆山市智程自动化有限公司针对尾气处理成立了研发小组，历时3年，目前已研发出湿式、干式、等离子式等多种尾气处理设备。

　　1，水洗式尾气处理器利用水吸收处理尾气的方式，对半导体工艺制程中产生的尾气进行处理，达到国家排放标准后进行排放。同时，对于部分气体还可以进行回收处理，如NH3，HCL等。该设备处理尾气时，效率高，最高效率可达到98%;原材料成本低，仅需要水即可;吸收后生成的氨水可回收，等特点。

　　2，干式尾气处理器主要通过吸附剂来吸附半导体工艺智程中所产生的尾气，从而使其达到国家排放标准。吸附筒中的吸附剂能有效将半导体制程中设备中产生的有毒腐蚀气体吸附，所产生的压差由压力表反馈至控制系统，控制系统做出反应，自动切换至副吸附筒，从而将有毒腐蚀气体吸收处理。吸附气体包括SiHCl3, B2H6，PH3，H2S, CO, CO2, SO2, CS2, CL4, H2CCL2 丙酮，乙醇，苯，甲苯，苯乙烯，恶臭物质等。处理效率非常高，最高处理效率可达到98%。

　　3，电加热水洗式尾气处理器可以用来处理半导体工艺中产生的有毒气体。其主要原理是先通过加热高温裂解，然后在通过水洗处理的方式对尾气进行处理，使其达到国家排放标准。该设备对于一些有毒气体，特别是针对易燃气体如SIH4，B2H6等，其处理效果非常好。设备装有多重安全设施，可用于半导体行业各种工艺后尾气处理。

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